四探針電阻測定儀硅片電阻率測量的國際標準（ASTM F84）.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》. GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

方阻計 四探針測試儀適用范圍： 四探針法測試的 導電性新材料、鋁箔、銅箔等具有類似性質要求測量的材料.

四探針低電阻率測試儀比較-電流計——計算電阻或電導的*百分比誤差是指Rs,電流計偏移或放大器讀數的百分比誤差總和,同時假設電流靈敏度與偏移無關。對于新式電流計(直流電流放大器可能發生1/3刻度偏移),后者的假設精度到±2%有用范圍之內(在1/10滿刻度偏移之上)。Rs的誤差取決于采用的電阻器類型,但是1MΩ電阻的誤差極限低至0.1%是適用的。對于滿刻度偏移,采用靈敏度為10nA的電流計或直流電流放

薄膜四探針電阻率測試儀儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。 儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

雙電測數字式四探針測試儀數控恒流源 (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A (2)誤差：±0.1%讀數±2 字